真空插板閥結構原理

    插板閥是隔絕兩個相鄰空間的重要部件，在真空行業中，插板閥被廣泛應用于各種真空設備上，用來隔絕兩個不同的真空度的區域或者隔絕真空環境與其他氣體環境。

    隨著半導體行業的蓬勃發展，真空插板閥也越來越多的應用于半導體真空制程中。傳統真空插板閥運動機構、導向機構位于插板閥殼體內部；在驅動閥板運動過程中，運動機構、導向機構中的零件與零件之間碰撞、摩擦等會產生金屬顆粒，引入到半導體制程中，進而污染晶圓。為了克服現這些問題，相關廠家研發了新型的真空插板閥。

    真空插板閥主要包括殼體和閥板，閥板在兩個驅動裝置的驅動下運動，原理是驅動件1帶動閥板整體上下運動，接近、遠離法蘭口位置，驅動件2帶動閥板前后運動，貼近、遠離殼體的密封面，實現閥板的“l”形運動，從而減少了殼體內的運動機構，減少金屬顆粒的產生，防止向半導體制程中引入金屬顆粒，污染晶圓。